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VUV- und Hochleistungslampen von Heraeus Noblelight

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Die D200 VUV Hochleistungslichtquellen sind Deuterium-Entladungslampen. Ihre elektri- sche Leistung beträgt 200 W. Wesentliche Eigenschaften der Lampe sind: Gerichtete UV- Strahlung, ein breites kontinuierliches Spektrum zwischen 160 und 400 nm, hoher UV- Strahlungsfluss bei 125 und 160 nm. D200 Hochleistungslampen mit einem Spektralbereich zwischen 160 und 400 nm haben ein breites Anwendungsfeld in Labor und Produktion: · Optische Untersuchungen mit UV-Strahlung · Qualitätssicherung in der Halbleiterindustrie · UV-Interferometrie · UV-Spektroskopie bei hoher Strahldichte · UV-Absorptionsmessungen · Fluoreszenzanregung · Photochemische Untersuchungen D200 VUV Hochleistungslampen werden wegen der hohen Photonenenergie und der hohen optischen Auflösung der UV-Strahlung bei kurzen Wellenlängen eingesetzt. Die Lampe bie- tet eine hohe Strahldichte, speziell bei 121/125 nm und 160 nm. Bei diesen kurzen Wellen- längen besteht eine hohe Wechselwirkung der UV-Strahlung mit Gasmolekülen. Die Lampe kann deshalb nur unter Vakuum im Innenraum betrieben werden. Anwendungen sind zum Beispiel:

			· Lithographie · Qualitätssicherung in der Halbleiterindustrie · Fluoreszenzanregung · Photochemische Prozesse mit hoher Photoenergie Drei verschiedene D 200 Lampentypen sind durch entsprechende Fenstermaterialien und ihren Aufbau für unterschiedliche Spektralbereiche ausgelegt. TECHNISCHE DATEN UND SPEZIFIKATIONEN Lampentyp D 200 F D 200 F-HV D 200 VUV Kühlmantel: ja ja ja Spektralbereich 160 - 400 nm (Schutzglas) 160 - 400 nm (Vakuum) 115 - 400 nm (Vakuum) Öffnungswinkel siehe hier siehe hier siehe hier Fenstermaterial synth. Quarz synth. Quarz MgF2 Vakuumflansch ohne Flansch DN 50 KF DN 50 KF Blende Ø 1,0 mm 1,0 mm 1,0 mm Wasser-Kühlung/Menge ≥0,5 l/min ≥0,5 l/min ≥0,5 l/min Außendurchmesser 54 mm 54 mm 54 mm Stecker/Amphenol-Tuchel 3109/1 3109/1 3109/1 Gesamtlänge 158 mm 243 mm 243 mm ELEKTRISCHE DATEN Aufheizen Heizspannung 6 Vdc Heizstrom 4,5 A Aufheizzeit 30 s Betriebsdaten Heizspannung 3,0 Vdc Heizstrom 2,5 A Zündspannung ≥500 V Anodenstrom einstellbar 0,9 - 1,8 A Betriebsspannung 110+10/-15 Vdc Stabilität der UV-Strahlung Rauschen (bei 250 nm) <0,1% p-p Drift (bei 250 nm) ±0,5%/h		Abbildung oben: Alle Lampentypen zeigen das kontinuierliche Spektrum zwischen 165 nm und 400 nm. Der Spektralbereich 115 nm bis 180 nm zeigt die hohe UV-Strahldichte bei den Wellenlängen 121/125 nm und 160 nm mit ca. 20-facher Strahldichte im Vergleich zum kontinuierlichen Spektralbereich >170 nm.
			BESTELL- UND PREISINFORMATIONEN Typ Bemerkungen Garantie (h) Best. Nr. Preis Hochleistungs Deuteriumlampen (ab 200 Watt) D 200 F (Bild) mit Kühlmantel 1000 56001671 1.478,00 D 200 F - Ersatz (Bild) Ersatzlampe für 56001671 1000 56001669 1.199,00 D 200 F-HV (Bild) mit Kühlmantel 1000 45006278 1.933,00 D 200 F-HV - Ersatz (Bild) Ersatzlampe für 45006278 1000 45006286 1.374,00 D 200 VUV Assembly (Bild) best. aus Lampe, Vakuumflansch, Kühlmantel 300 45006010 2.805,00 D 200 VUV - Ersatz (Bild) Ersatzlampe für 45006010 300 45006127 2.076,00 Vakuum UV Deuteriumlampen (30 Watt) F03 VUV-Lampe für analytische Anwendungen, Quarz-Fenster 500 80013064 370,00 F05 VUV-Lampe für analytische Anwendungen, MgF2-Fenster 500 80017478 1.478,00 J59 VUV-Lampe mit 0,5 mm Aperturblende 500 80017520 979,00 J97 Durchscheinlampe auf Basis der J59 500 80037512 979,00 V01 lange Ausführung, mit MgF2-Fenster 500 80017697 1.701,00 V02 lange Ausführung, mit Quarzglas-Fenster 500 80017698 1.185,00 V03 kurze Ausführung, mit MgF2-Fenster 500 80017699 1.592,00 V04 kurze Ausführung, mit Quarzglas-Fenster 500 80017700 1.185,00 V05 wie V01, jedoch ohne Sockel für den Betrieb im Vakuum 500 80020174 1.701,00 Alle Preise verstehen sich pro Stück in EUR zzgl. Mwst. Änderungen und Irrtümer vorbehalten. Suprasil® ist ein eingetragenes Warenzeichen der Firma Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Für weitere Fragen und Informationen stehen wir Ihnen jederzeit gerne zur Verfügung.

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