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Die D200 VUV Hochleistungslichtquellen sind Deuterium-Entladungslampen. Ihre elektrische Leistung beträgt 200 W. Wesentliche Eigenschaften der Lampe sind: Gerichtete UV-Strahlung, ein breites kontinuierliches Spektrum zwischen 160 und 400 nm, hoher UV-Strahlungsfluss bei 125 und 160 nm. D200 Hochleistungslampen mit einem Spektralbereich zwischen 160 und 400 nm haben ein breites Anwendungsfeld in Labor und Produktion: · Optische Untersuchungen mit UV-Strahlung · Qualitätssicherung in der Halbleiterindustrie · UV-Interferometrie · UV-Spektroskopie bei hoher Strahldichte · UV-Absorptionsmessungen · Fluoreszenzanregung · Photochemische Untersuchungen D200 VUV Hochleistungslampen werden wegen der hohen Photonenenergie und der hohen optischen Auflösung der UV-Strahlung bei kurzen Wellenlängen eingesetzt. Die Lampe bietet eine hohe Strahldichte, speziell bei 121/125 nm und 160 nm. Bei diesen kurzen Wellenlängen besteht eine hohe Wechselwirkung der UV-Strahlung mit Gasmolekülen. Die Lampe kann deshalb nur unter Vakuum im Innenraum betrieben werden. Anwendungen sind zum Beispiel: |
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· Lithographie · Qualitätssicherung in der Halbleiterindustrie · Fluoreszenzanregung · Photochemische Prozesse mit hoher Photoenergie Drei verschiedene D 200 Lampentypen sind durch entsprechende Fenstermaterialien und ihren Aufbau für unterschiedliche Spektralbereiche ausgelegt. TECHNISCHE DATEN UND SPEZIFIKATIONEN
ELEKTRISCHE DATEN
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Suprasil® ist ein eingetragenes Warenzeichen der Firma Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Für weitere Fragen und Informationen stehen wir Ihnen jederzeit gerne zur Verfügung. |
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